電感耦合等離子體質譜儀是一種高精度、高靈敏度的分析儀器，其工作原理基于電感耦合等離子體技術和質譜分析技術的結合。首先，通過霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化并解離出離子化氣體。這些離子經過取樣錐進入低真空環境中形成分子束，再經過四極質譜分析器進行質量分離，最終到達離子探測器。根據探測器的計數與濃度的比例關系，可以測出元素的含量或同位素比值。
1、環境領域
水質監測：可用于檢測地表水、海水、飲用水中的重金屬元素，如銅、鉛、鎘、汞、鉻等，以及一些非金屬元素和陰離子，幫助評估水體的污染狀況和水質安全。例如，在監測河流、湖泊的水質時，能夠快速準確地測定其中的各種痕量元素含量，為環境保護和水資源管理提供依據。
大氣監測：分析大氣中的顆粒物、氣溶膠中的元素組成，有助于了解大氣污染的來源和程度，比如對工業排放、汽車尾氣等造成的大氣污染進行研究。
土壤分析：測定土壤中的各種微量元素，包括重金屬元素和營養元素等，對于評估土壤質量、土壤污染狀況以及農業生產等方面具有重要意義。
2、食品安全領域
食品中的元素檢測：可檢測食品中的多種元素，如糧食、蔬菜、水果、肉類、奶制品等中的營養成分（如鈣、鐵、鋅、硒等）和有害元素（如鉛、鎘、汞、砷等），確保食品的安全性和營養價值。例如，通過檢測大米中的重金屬含量，可以保障消費者的健康；同時也可以對食品中的礦物質營養元素進行檢測，為食品的營養標簽提供準確數據。
食品添加劑和污染物檢測：用于檢測食品中的添加劑、農藥殘留、獸藥殘留等物質中的金屬元素，確保食品符合相關的質量和安全標準。
3、地質領域
巖石和礦物分析：對巖石、礦石等樣品中的微量元素進行分析，幫助地質學家了解地球的內部結構和演化過程，尋找礦產資源。例如，在金礦勘探中，可以通過ICP-MS測定礦石中的金含量及其他伴生元素的濃度，為選礦和冶煉提供依據。
地質年代測定：利用同位素比值測定技術，對地質樣品中的放射性同位素進行分析，確定巖石、化石等的年齡，為地質研究提供重要的時間尺度。
4、生物醫學領域
臨床診斷：檢測人體生物樣本（如血液、尿液、頭發等）中的微量元素和重金屬元素，用于疾病的診斷和治療監測。例如，通過檢測血液中的鉛含量，可以輔助診斷鉛中毒；檢測血液中的微量元素水平，可以幫助診斷某些營養缺乏癥或代謝性疾病。
藥物研發：在藥物研究和開發過程中，用于分析藥物中的金屬雜質，確保藥品的質量和安全性；同時也可以研究藥物與金屬元素之間的相互作用，為藥物的設計和優化提供參考。
生物樣本的元素成像：結合激光剝蝕等技術，可以實現對生物組織切片中的元素分布進行成像分析，為生命科學的研究提供新的方法和手段。
5、核領域
核材料分析：對核燃料、核廢料等核材料中的同位素組成和元素含量進行分析，確保核材料的安全使用和管理。例如，在核電站的運行過程中，需要對核燃料棒中的鈾、钚等元素的同位素比例進行精確測定，以評估核燃料的燃耗情況。
核科學研究：在核物理和核化學的研究中，用于研究原子核的反應過程和核結構的相關信息。
6、半導體領域
半導體材料分析：檢測半導體材料中的雜質元素和摻雜元素的含量，確保半導體材料的高純度和性能。例如，在硅芯片的制造過程中，需要嚴格控制其中的雜質元素含量，以保證芯片的性能和可靠性。
半導體工藝監控：在半導體生產的各個環節中，對工藝溶液中的金屬離子進行監測，防止金屬雜質的引入，提高半導體產品的質量和良率。
